● 3um particle 去除率高達98%以上。
● 免維修、低損耗、空間易配置。
● 氣流平衡設計，Particle不外流。
● 非接觸式除塵，無損傷材質疑慮。
● 可配合客戶設備空間，客製化設計。
● HEAD內藏滾輪，薄型材料亦可通過，
配置上下HEAD可雙面清潔。
適用於薄型材料，如銅箔、光學膜、載板等，雙面清潔製程。
| Item | Specification |
| Cleaner Head effective length | Based on customer requirement L:100mm~2600mm |
| 系統組成 Blower Type | HEAD+filter system+鼓風機 |
| 系統組成 CDA Type | HEAD+filter system+Dust collector |
