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Slit Coater 狹縫塗佈機

適用製程 : ARRAY、CF、OLED、RGB 光阻精密塗佈。
適用製程 : 太陽能鈣鈦礦 製程精密塗佈。
適用製程 : PLP、FOPLP 半導體先進封裝面板級 製程精密塗佈。
使用狹縫式塗佈刀頭精密驅動將藥液均勻塗佈於基板上。
作業尺寸機型 : 200*200 ~ 1200*2400mm (客製化)。

自動化設備,產能提升 
穩定性高 
觸控螢幕介面人性化,操作簡單 
依客製化需求,機台設計可依產品尺 寸大小做變化

項目

規格

型號

 MSC-370*470

 MSC-550*650

 MSC-1500*1850

 MSC-1500*1850

機台尺寸

 2050(L)*1300(W)

*1700(H) mm

 2360(L)*1300(W)

*1800(H) mm

3875(L)*2850(W)

*2125(H) mm

 3357(L)*3716(W)

*2125(H) mm

機台重量

 約 2000kg

 約 3000kg

 約 8000kg

 約 9000kg

產品尺寸

 370*470 mm

 550*650 mm

 1500*1850 mm

 2400*1200 mm

操作方式

 PLC系統控制

生產節拍

30 ~ 100 sec/pcs (依案件訂定)

膜厚均勻性

± 3% ~ 10% (依案件訂定)

藥液黏度

 CPS 1~100

塗佈速度

 5~100 mm/sec

塗佈寬幅

200~2400 mm (依案件訂定)