SPIN旋轉清洗形式，有效去除光罩表面附著污物之洗淨及去除
因應各種產品尺寸，更換固定治具即可作業，提升機台功能性
搭配超音波水洗清洗，去污力提升
觸控螢幕介面人性化，操作簡單，上手容易
依客製化需求可變更清洗流程
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規格 |
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機台型號 |
MMC-1400*850 |
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機台尺寸 |
2326(W)×3406(D)×2418(H)mm |
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光罩尺寸 |
1400 x 850 x 4.8~8 (t)mm |
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旋轉STAGE |
伺服馬達驅動旋轉，轉速30~600rpm |
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毛刷清洗 |
毛刷可依客戶製程更換 |
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清潔毛刷清洗槽 |
毛刷動搭配超音波震盪做毛刷清潔 |
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超音波水洗系統 |
使用日製超音波 |
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CDA吹乾機構 |
使用旋轉及吹氣方式 |
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控制系統 |
PLC |
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MASK翻轉 |
MASK自動翻轉正反面機構裝置 |
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入出料型式 |
人工上下料 |
