1.強烈紫外光波(220-450nm)非接觸式照射,無電荷擊穿問題,最能保護精細IC電路
2.UV照度高達300mw/cm2;產速快
3.適用12吋/8吋晶圓
4.自動照度監控及燈管壽命管理
5.照射均勻性80%以上(初始值) (直徑300mm圓5點量測)
6.產品溫度可控制在60度°C以內
7.可配合客戶進行串線
| 項目 | 規格 |
| 試用產品 |
12/8吋晶圓 |
| 設備尺寸(寬x深x高) |
主設備 180 X 190 X 220 cm |
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電源入力 |
AC 380V/220V 50/60Hz 3相 |
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燈管總電功率 |
19kw |
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紫外光主波長 |
220-450nm |
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傳片機構 |
晶圓手臂(單/雙ARM可選)( 附MAPPING掃片器) |
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LOAD PORT |
手動/自動 /串線 |
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控制方式 |
PC BASE MMI 介面 |
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連線 |
SECS/GEM(option) |
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認證 |
SEMI S2(option) |
1.FOPLP晶圓UV固化製程
2.晶圓表面膠水/油墨UV固化製程
3.暫時鍵合解膠DEBOND製程
4.先進扇出封裝製程
