1. FOR 8"/12"晶圓進行全自動ERASE製程 2. 採用高強度柵型低壓汞燈;強烈254nm射線處理速度快,柵型面積均勻性佳 3. 模組化設計,1照射模組有3照射燈箱;最多可擴充3照射模組(9燈箱),WPH產速同型機最高 4. 照度即時監控設計 5. 換燈簡易設計
1.EPROM/FLASH ROM晶圓記憶抹除(ERASE)製程
2.晶圓電性中型製程
