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8吋6片晶圓紫外線記憶抹除機(量產型)

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8吋6片晶圓紫外線記憶抹除機(量產型)

1.抽屜TRAY盤式設計,適合手動量產製程
2.單批次:8吋晶圓6片
3.254nm非接觸光波照射,無電弧損傷晶圓問題
4.無臭氧燈管設計,設備不需加裝熱排管
5.機體防漏光設計/門誤開熄燈設計,操作高安全性
6.操作及換燈簡易設計
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項次ITEM 規格SPECIFICATION
晶圓 8 INCH
設備尺寸 120x75x161cm (WxDxH)
電力需求 220V/單相/60HZ  
燈管型態/功率 格柵型汞燈/350W

主要波長

 254 NM
安全設計 防漏光機箱 
安全設計 照射中誤開門熄燈設計 
安全設計 電源超溫跳脫設計 

適用產業/製程
1.EPROM/FLASH ROM晶圓記憶抹除(ERASE)製程
2.晶圓電性中和製程
3.晶圓乾式清潔去除有機物

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