晶圓紫外光ERASE-光清洗燈管

1.254m光波非接觸式照射,無電漿電荷擊穿問題,最能保護精細IC電路
2.燈管可併排增大製程處理面積,燈管柵型設計(GRID TYPE)均勻性特佳
3.台製低壓汞燈採冷陰極設計,使用壽命長(一般2000-5000H更換)
4.正常使用條件保固1000HR
5.無臭氧逸散問題,設備不需裝置熱排管
6.更換燈管簡易,使用者可自行更換
G1005NO
G995NO
G985NO-B
UVL2442
UVL8121
UVL681
C600GRID

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燈管波長光譜

應用產業

1.晶圓/驅動IC記憶抹除(MEMORY ERASE)製程

2.晶圓光清洗製程

3.膠帶去除

4.IC封裝/貼合前清潔/改質

規格樣式 (可依需求訂製)

項目	規格
燈管型號	MLA-GL005-6
適用產品	12/8/6吋晶圓及薄型工件
燈管尺寸(長x寬x高)	74X10X3 cm (可依需求訂製)
燈管型態/功率/產地	柵型低壓汞燈/350W/台灣
紫外光主波長	254nm
UVC照度(新燈)	30 mw/cm2 (日系測錶) /70 mw/cm2(美系測錶)