晶圓快速加熱水冷盤座

1.快速加熱；升溫速率≧2℃
2.快速冷卻；降溫速率≧3℃
3.高產量
4.基材：鋁合金
5.工作溫度可達250℃
6.溫度均勻性達±3% (250℃)

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主要應用：

1.晶圓快速加熱/水冷盤座，增加產速

2.其他行業的薄型產品應用（玻璃）

設備特色：

1.整合加熱/冷卻的熱盤設計

2.承受冷熱衝擊變形設計

3.晶圓真空吸附設計

4.高精度表面加工

5.控制箱可與客戶主系統配套

聯絡方式

JOE

0919844561 / (04) 25378884 ext:28403

(04) 25378884 ext:28340

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